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辉光放电灯中二元合金溅射率与化学组成的关系

任建世 , 张功杼 , 王桢枢 , 刘根 , 刘圣麟

金属学报

在恒定气压和电压条件下,用测量溅射减量的方法,系统研究了Cr—Fe,Bi-Sb,Cu—Zn,Ag—Cu,Al-Zn和Cd—Sn六个系统的25个试样在辉光放电灯中溅射率与组分的关系结果表明;阴极溅射在稳态时,二元合金(不形成金属间化合物)的溅射率与组元浓度的普遍关系是双曲线,只有在某些特殊情况下,两组...

关键词: 二元合金 , glow discharge , binary alloy , sputtering rate