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罗俊一 , 沈益军 , 李刚 , 刘培东 , 张锦心 , 包宗明 , 黄宜平
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.01.018
铁杂质是硅片制造过程中常见的重金属沾污，表面光电压(SPV)法可很好地用于测定P型硅中铁杂质。本文通过SPV法测试不同流程制造的P型抛光硅片中的铁沾污，找到了在P型抛光硅片制造工艺过程中引入铁沾污的主要来源。
关键词: 表面光电压法 , 铁杂质 , 抛光硅片
王德朋 , 王旭东 , 刘培东 , 梁仕军 , 张文建 , 冯宗杰
表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.05.009
为了对比2种不同ZrO2涂层的结构和性能,用等离子喷涂的方法,制备出烧结破碎型ZrO2涂层和空心ZrO2涂层,以X射线衍射和扫描电镜作为分析手段,分析对比了两种热障涂层的相和微观形貌.对2种涂层进行了拉伸试验,发现烧结ZrO2涂层的强度更高一些.
关键词: 热障涂层 , 等离子喷涂 , 烧结破碎型ZrO2 , 空心ZrO2 , 结合强度
