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电子束蒸发沉积重掺硅薄膜及其在低辐射玻璃上的应用

刘学丽 , 黄延伟 , 李向明 , 席俊华 , 季振国

功能材料

采用电子束蒸发法以普通玻璃为基板制备了重掺硅薄膜,通过SEM、EDS、透射光谱对其形貌、成分以及透射率进行了测试表征.进一步采用铝诱导低温晶化法在玻璃基板上沉积Al薄膜,对重掺硅薄膜进行铝诱导晶化.XRD测试、电学性能测试以及可见-红外光谱透射率测试结果表明,硅薄膜在温度为300℃以上出现了Si(1...

关键词: 电子束蒸发 , 重掺硅薄膜 , 低辐射玻璃 , 硅保护层 , 铝诱导低温晶化法