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退火炉燃烧控制研究与应用

刘德福 , 鲍洪波 , 王琦 , 李翠燕

金属世界 doi:10.3969/j.issn.1000-6826.2007.03.004

对于任何连续热镀锌线退火炉都是关键设备.退火炉的燃烧控制直接决定了镀锌板质量.特殊设计的退火炉控制系统,能提供精确和高质量的燃烧和带钢温度控制.本文从退火炉温度和各种介质的控制出发,讨论分析了各种控制原理和控制方法.

关键词: 温度 , 压力 , 流量 , 燃烧控制

阵列光纤组件端面的化学机械抛光试验研究

邹文兵 , 刘德福 , 胡庆 , 陈广林

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.04.024

目的：设计合理的抛光工艺方案,获得平整的阵列光纤组件端面。方法采用单因素实验法研究抛光工艺参数对阵列光纤表面粗糙度与光纤凸起量的影响,利用光学表面轮廓仪与扫描电镜进行分析与观察。结果在抛光液磨粒质量分数为2%,抛光液流量为15 mL/min,抛光压力为50 kPa,抛光盘转速为30 r/min的条件...

关键词: 阵列光纤组件端面 , 化学机械抛光 , 表面粗糙度 , 光纤凸起量

光纤阵列的超声椭圆振动辅助化学机械抛光

陈涛 , 刘德福 , 佘亦曦 , 严日明

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.018

为了获得平整的光纤阵列端面,设计了一套超声椭圆振动辅助化学抛光系统,并进行常规化学机械抛光和超声椭圆振动辅助化学机械抛光的对照试验.结果表明,应用超声椭圆振动辅助化学机械抛光技术加工光纤阵列,选择合理的抛光工艺参数,可获得质量较好的光纤阵列端面,相比于常规化学机械抛光技术,光纤的表面粗糙度降低了25...

关键词: 光纤阵列 , 超声椭圆振动 , 化学机械抛光 , 表面粗糙度

单晶蓝宝石衬底晶片的化学机械抛光工艺研究

余青 , 刘德福 , 陈涛

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.03.038

目的 设计单晶蓝宝石衬底化学机械抛光的合理方案,探究主要抛光工艺参数对抛光衬底的表面质量和材料去除率的影响,并得到一组材料去除率高且表面质量满足要求的抛光工艺参数.方法 借助原子力显微镜和精密天平分别对衬底表面形貌和材料去除率进行分析,采用单因素实验法探究了抛光粒子、抛光时间、抛光压力和抛光盘转速对...

关键词: 蓝宝石衬底 , 化学机械抛光 , 交互正交法 , 材料去除率 , 表面质量

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