胡石琼
,
王向晖
,
刘恩庆
,
史芹
,
余文娟
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.007
采用光刻技术和反应离子刻蚀法(RIE)先在硅表面制备出一系列平面尺寸不同的微图形阵列,然后采用溶胶凝胶(sol-gel)浸渍提拉法在其表面制备出均匀致密、表面粗糙度一致的锐钛矿型纳米晶TiO2薄膜.利用扫描电镜(SEM)和免疫荧光标记实验研究图形尺寸对人脐静脉内皮细胞(HUVEC)附着形态的影响.实验结果发现在化学成分、细胞毒性、表面粗糙度都不对细胞附着形态产生影响的条件下,HUVEC对图形尺寸的响应为:当平面空间足够时细胞的附着伸展性能较好,而当没有足够的平面空间时细胞的附着伸展性能较差.
关键词:
光刻
,
反应离子刻蚀
,
溶胶凝胶法
,
图形化表面TiO2薄膜
,
细胞附着
刘恩庆
,
王向晖
,
胡石琼
,
陈静
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.06.002
不同剂量的银离子被注入到采用反应磁控溅射(RMS)制备出的TiO2薄膜中.实验发现,薄膜的成分以二氧化钛和单质银为主,薄膜中可以看到银的纳米晶颗粒.注入的银离子在薄膜中呈近高斯分布,分布峰随注入剂量的增加而向表层移动.银离子注入后原本致密平整的TiO2薄膜表面出现了沟壑和晶粒粗化现象,且均方根粗糙度随注入剂量的增加而增加.不同的注入剂量对薄膜的表面能没有明显的影响.
关键词:
离子注入
,
反应磁控溅射
,
二氧化钛
,
银
,
显微结构
