王小平
,
刘援
,
王霈文
,
冯稷
,
李季
,
林晨光
,
华志强
,
吴柏枚
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.06.004
采用中空柱阴极直流磁控溅射装置制备 YBCO 超导薄膜.应用原子力显微镜(AFM)研究了在最佳工艺条件下沉积在 LaAlO3 和 Zr(Y)O2 上的具有 c 轴取向的 YBCO 超导薄膜及其相应衬底的表面形貌.生长的 YBCO 膜都具有较好的表面结构.在 LaAlO3 单晶衬底上的 YBCO 膜形...
关键词:
磁控溅射
,
YBCO
,
薄膜
,
表面形貌
王小平
,
刘援
,
王霈文
,
李季
,
林晨光
,
华志强
,
冯稷
,
吴柏枚
,
杜英磊
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2002.02.001
采用大直径中空柱状阴极直流磁控溅射装置,在LaAlO3和Zr(Y)O2衬底上制备YBCO超导薄膜.用透射电镜(TEM)、扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)对薄膜和衬底间的界面,薄膜的螺旋生长结构,YBCO薄膜及其相应衬底的表面形貌进行了观察和测量.分析了基片表面形貌及表层内缺陷对界面附...
关键词:
王小平
,
刘援
,
王霈文
,
冯稷
,
林晨光
,
华志强
,
张朝兴
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2000.06.017
采用大直径中空柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量 YBa2Cu3O7-x 双面超导薄膜.使用衬底为(001) LaAlO3 和 (001) YSZ.双面超导薄膜零电阻温度 TC=89～91K,临界电流密度 JC≥106A/cm2(77K,零场下),微波表面电阻 RS＜1 mΩ(77K,10...
关键词:
磁控溅射
,
双面超导薄膜
,
性能
,
微结构
