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姜恩永 , 刘晖 , 刘明升 , 林川 , 孙多春
材料研究学报
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2 关键词: 对向靶溅射 , null , null , null
关键词: 对向靶溅射 , null , null , null
