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直流电沉积Ni-W-P镀层研究

刘殿龙 , 杨志刚 , 刘璐 , 张弛

稀有金属材料与工程

采用直流电沉积法,在低碳钢表面成功沉积Ni-W-P镀层.应用X射线荧光(XRF)、扫描电子显微镜(SEM)、俄歇电子能谱(AES)、X射线衍射(XRD)仪等方法,研究电流密度、镀液pH值和镀液温度对Ni-W-P镀层成分、表面形貌和结构的影响.结果表明,电流密度和镀液pH值的变化对Ni-W-P镀层成分...

关键词: Ni-W-P镀层 , 电流密度 , pH值 , 镀液温度

自组装方法化学沉积NiMoP镀层研究

刘璐 , 杨志刚 , 刘殿龙 , 张弛

稀有金属材料与工程

应用自组装膜吸附钯的活化方法,在SiO2/Si平面基板表面化学沉积NiMoP阻挡层.应用XRF、XRD、SEM以及四探针等方法探讨了镀液中钼酸根浓度、温度及pH值对NiMoP镀层的影响.结果表明,镀层中Mo与P含量互相制约;随钼酸钠浓度上升,化学镀NiMoP的沉积速度逐渐降低,镀层结构由非晶态向晶态...

关键词: 化学沉积 , 自组装层 , NiMoP阻挡层

超声波对Ta/SiO2/Si基板置换活化法化学镀铜的影响

刘殿龙 , 杨志刚 , 王静 , 张弛

稀有金属材料与工程

采用置换活化法,以PdCl2/BOE/HNO3溶液对Ta/SiO2/Si基板进行活化,然后在基板上成功实现化学镀Cu薄膜.应用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X射线衍射(XRD)等方法,研究了活化时间及超声波对化学镀Cu薄膜表面形貌和结构的影响.结果表明,在化学镀Cu过程中没有引入超声波时,随着...

关键词: 超声波 , 置换活化 , 化学镀 , 覆盖率

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