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BST薄膜的研究现状与发展趋势

张柏顺 , 章天金 , 刘江华 , 江娟

材料导报

综述了(Ba1-xSrx)TiO3(BST)薄膜材料的研究现状,包括薄膜的制备技术、电极材料的选择、组分与掺杂对电学及介电性能的影响,分析了与薄膜相关的缺陷和可靠性现象,并对未来可能的进展作了简单的描述.

关键词: BST薄膜 , 性能 , 制备 , 电极材料 , 掺杂