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离子束沉积技术室温生长Si/Ge薄膜的晶化研究

杨宇 , 陈刚 , 邓书康 , 高立刚 , 刘焕林 , 吴国元 , 俞帆 , 陈长青 , 陈亮 , 郝瑞亭

功能材料

研究Si的室温晶化生长对微电子应用技术是十分重要的.本文采用离子束外延技术制备了一系列的Si/Ge多层膜结构,对样品进行X射线和拉曼散射实验表征.研究表明:Ge可诱导膜中Si薄层的室温晶化,当Ge厚度略小于Si薄层厚时,获得最佳的Si室温晶化效果.

关键词: Si/Ge多层膜 , 离子束外延 , XRD , Raman散射

离子束溅射制备Si/Ge多层膜的结晶研究

邓书康 , 陈刚 , 高立刚 , 陈亮 , 俞帆 , 刘焕林 , 杨宇

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.02.020

采用离子束溅射制备Si/Ge多层膜,通过X射线小角衍射计算其周期厚度及各子层的厚度,用Raman光谱对Si/Ge多层膜的微观结构及Si子层的结构进行表征.结果表明,所制备的Si/Ge多层膜中,当Ge子层的厚度为6.2nm时,Si子层的结晶质量较好,表明适量的Ge含量有诱导Si结晶的作用.

关键词: Si/Ge多层膜 , 离子束溅射 , 拉曼光谱

铜锌锡硫薄膜太阳电池及其研究进展

缪彦美 , 刘颖 , 郝瑞亭 , 邓书康 , 郭杰 , 刘焕林

材料科学与工程学报

近些年,人们越来越关注太阳辐射的光伏利用.光伏发电技术在迅猛发展,薄膜太阳电池从占有主导地位的硅晶片技术中抢占了一定的市场份额.其中铜锌锡硫薄膜太阳电池因具有低成本、高的光电转化效率和吸收系数、合适的禁带宽度和环境友好等优点成为近年来薄膜太阳电池研究的热点.本文阐述了铜锌锡硫薄膜太阳电池的器件结构和性能特点,介绍了铜锌锡硫薄膜太阳电池的制备方法和研究进展,并对今后主要的发展方向进行了展望.

关键词: 铜锌锡硫 , 薄膜太阳电池 , 光伏

电子束蒸发a-Si:Co薄膜的离子注入改性研究

马铁英 , 刘焕林 , 陈刚 , 杨宇

功能材料

用电子束蒸发技术制备非晶硅薄膜,不同剂量Co离子注入后真空退火改性.X射线衍射法分析了样品的物相变化特征,发现Co离子注入可诱导非晶硅结晶,有一优化注入剂量5×1016ions/cm-2,使晶化Si(111)峰最强.还测量了非晶硅薄膜电阻率,揭示薄膜电阻温度系数随Co离子掺杂浓度和退火温度改变的规律;在退火温度500℃,离子注入量5×1015ions/cm-2条件下,获得TCR系数高达-2.5%的薄膜材料.

关键词: a-Si∶Co薄膜 , 离子注入 , 电阻温度系数

射频磁控溅射纳米SiC薄膜及其拉曼和红外分析

陈长青 , 毛旭 , 周祯来 , 陈刚 , 刘焕林 , 杨宇

功能材料

用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备出一系列衬底温度不同的纳米碳化硅薄膜,衬底温度分别为室温,200、400、600、700℃,并对样品进行了Raman和傅立叶红外测试分析.结果表明,随衬底温度的升高,薄膜结晶度提高,其晶粒尺寸为纳米数量级.通过FTIR不仅观察到SiC的TO声子在红外被激活,而且LO声子在粒径很小或薄膜很薄时也能在红外被激活,体现了纳米SiC较强的红外吸收特性.

关键词: 磁控溅射 , 纳米碳化硅 , 红外吸收 , 拉曼吸收

离子束溅射制备Si/Ge多层膜及红外吸收性能研究

刘焕林 , 郝瑞亭 , 杨宇

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.02.017

采用离子束溅射方法在Si衬底上制备Si/Ge多层膜.通过改变生长温度、溅射速率等因素得到一系列Si/Ge多层膜样品.通过X射线衍射、拉曼散射、原子力显微分析(AFM)等表征方法研究薄膜结构与生长条件的关系.在小束流(10mA)、室温条件下制备出界面清晰、周期完整的Si/Ge多层膜.通过红外吸收谱的测量发现薄膜样品具有较好的红外吸收性能.

关键词: Si/Ge多层膜 , 离子束溅射 , 红外探测材料

掺杂ZnO薄膜研究

郝瑞亭 , 刘焕林 , 杨宇

功能材料

采用电子束蒸发方法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜和掺杂ZnO薄膜.通过X射线衍射、台阶仪及Hall效应等测试研究了衬底温度和掺杂对晶体质量和电学性能的影响,发现原位生长的ZnO薄沿c轴择优生长,且掺杂ZnO薄膜具有低达3.029×10-4Ω·cm的电阻率.

关键词: ZnO薄膜 , 电子束蒸发 , 电学性能 , XRD分析

含纤维断裂复合材料热阻变化的细观建模

宁志华 , 刘人怀 , 刘焕林

复合材料学报 doi:10.13801/j.cnki.fhclxb.20160411.002

为探讨单向纤维增强复合材料中纤维损伤与材料热阻变化之间的关系,建立了由纤维断裂引起热阻变化的细观理论模型,并利用该模型对热阻变化率进行了定性分析。针对纵向传热与垂直传热两种情形下的热阻进行分析,结合 Weibull纤维强度分布模型,引入纤维失效长度作为纤维链段的最小长度,获得了纤维断裂引起的复合材料纵向和沿厚度方向热阻变化率的解析函数。采用 Monte-Carlo随机方法对外加应力作用下复合材料热阻随着纤维断裂而发生变化的过程进行模拟。研究结果表明:无论是纵向热阻还是厚度方向的热阻,热阻变化率均随纤维断点数目的增大而线性递增;纤维体积组分越大,热阻变化率越大。纵向热阻变化率随着纤维/基体导热系数比β的增大而迅速增大,但当β>10时增大的幅度逐渐减弱;而厚度方向的热阻变化率则随着β的增大先急剧增大而后递减,当纤维与基体的导热系数相当时(在β=1附近)达到最大值。

关键词: 纤维增强 , 损伤检测 , 热阻 , Weibull分布 , Monte-Carlo模拟

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