高攀
,
刘熙
,
严成锋
,
忻隽
,
陈建军
,
孔海宽
,
郑燕青
,
施尔畏
人工晶体学报
SiC原料的纯度、粒径和晶型直接影响生长单晶的结晶质量和电学性质,尤其是高纯半绝缘本征SiC晶体的制备需要使用高纯SiC原料.本文采用超高温真空烧结炉,选择Si粉和C粉作为反应物,通过XRD、SEM、激光粒度测试仪和GDMS等测试手段研究了合成温度、压强、时间及原料配比等工艺条件对SiC颗粒成核、生...
关键词:
SiC晶体
,
原料
,
粒径
,
堆积密度
刘熙
,
高攀
,
严成锋
,
孔海宽
,
忻隽
,
陈建军
,
施尔畏
人工晶体学报
本文利用有限元方法模拟不同升温程序对籽晶石墨化的影响,计算表明籽晶表面石墨化层厚度是由“倒温度差”区间的温度、持续时间和“倒温度差”绝对值综合决定.在升温程序初期可以采用较小功率阶梯加热,迅速升温节约时间；中期可以采用从现有功率线性加热至额定功率,这样使得籽晶原料“倒温度差”区间内温度值变小且减缓反...
关键词:
碳化硅
,
生长速率
,
有限元
姜涛
,
严成锋
,
陈建军
,
刘熙
,
杨建华
,
施尔畏
人工晶体学报
本文对物理气相传输法生长的三片2英寸掺氮6H-SiC晶片,分别在不同温度下进行退火处理.采用原子力显微镜(AFM)对SiC晶片表面结构进行表征,研究了不同温度和偏角度对SiC晶片表面结构的影响.发现Ar气氛下高温退火处理可以在晶片表面形成规则的台阶条纹,说明Ar气氛下的高温退火处理对SiC晶片表面有...
关键词:
6H-SiC
,
退火
,
AFM
,
台阶结构
王天正
,
徐霞
,
郝晋堂
,
刘熙
,
董泽华
,
王鹏皓
腐蚀学报（英文）
doi:10.11903/1002.6495.2015.218
采用小孔限流与护环电极电流约束设计,并结合电化学阻抗技术,设计了一种能实时监测接地网腐蚀状态的电化学传感器.该传感器通过小孔限流将极化电流约束在小孔于接地网钢板上的投影区,同时通过护环电极电流约束电路,使弥散电流得到补偿,因而较传统方法可以更准确测量接地网的腐蚀速率.系统还通过B/S网络模式和SQL...
关键词:
接地网
,
腐蚀测量
,
远程监控
,
电流约束
,
电化学阻抗
