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ZnO/P-Si接触及其温度特性

刘磁辉 , 刘秉策 , 马泽宇 , 段理 , 付竹西

功能材料

用射频磁控溅射在硅衬底上淀积ZnO薄膜,随后进行I-V-T测量.实验结果显示硅基氧化锌接触具有异质结特性,异质结的电流输运机制为热发射和电流隧穿.用I-V-T测量的结果拟合计算了势垒高度和理想因子,结果发现ZnO/P-Si势垒高度随温度降低而减小理想因子则升高.异质结的这种反常的随温度变化的关系可以...

关键词: 氧化锌 , 异质结 , 势垒 , 温度特性