林育琼
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冯仕猛
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王坤霞
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裴俊
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刘绍军
,
刘峰
材料科学与工程学报
本文提出两步法制备多晶硅表面绒面技术,用两次化学腐蚀修饰多晶硅片的表面。实验中首先采用腐蚀液HF/NaNO2/H2O对多晶硅表面进行腐蚀,然后采用腐蚀液HF/HNO3/（NH4）2C2O4/H2O对其表面进一步修饰。通过多晶硅SEM表面形貌图分析,两步法修饰的多晶硅表面有形状如蚯蚓状的腐蚀坑,腐蚀坑...
关键词:
酸腐蚀法
,
表面结构
,
陷光效应
,
反射率
李益民
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刘绍军
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黄伯云
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曲选辉
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张传福
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.03.013
研究了粉末装载量和气氛对金属注射成形(MIM) 不锈钢脱脂过程的影响. 粉末装载量高, 脱脂速率低. 粉末装载量低, 脱脂速率高. 在真空环境下,由于石蜡的饱和蒸气压大于环境压力, 使得即使在80～100 ℃的低温情况下, 粘结剂也能比较显著地被脱除.
关键词:
粉末装载量
,
气氛
,
脱脂
