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铁电薄膜漏电流研究现状

杨艳 , 张树人 , 刘敬松 , 张洪伟 , 刘蒙

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2006.04.015

铁电薄膜的漏电流问题一直是困扰铁电存储器发展的重要问题.文章介绍了铁电薄膜的主要导电机理如热激发电子电导、空间电荷限制电流 (SCLC)、 Pool-Frenkel 发射、肖特基发射等,影响漏电流大小的主要因素如薄膜厚度、工艺温度、晶粒尺寸、电极材料、搀杂离子等.同时介绍了漏电流对铁电薄膜极化和抗疲劳特性的影响.

关键词: 铁电薄膜 , 漏电流 , 导电机理