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Al浓度对AZO薄膜结构和光电性能的影响

李金丽 , 邓宏 , 刘财坤 , 袁庆亮 , 韦敏

功能材料

采用射频溅射方法在Si基片上制备出AZO掺杂薄膜,对薄膜进行了XRD和AFM分析,并对其电性能作了研究.结果表明,掺杂量低于15%(原子分数)时,AZO薄膜结构为纤锌矿结构,呈c轴方向择优生长,没有Al2O3相出现.薄膜的可见光透过率均在80%以上,其最高电阻率出现在掺杂量为30%(原子分数),为1.3×107 Ω·cm.

关键词: AZO薄膜 , X射线衍射 , AFM , 电阻率