刘贵昂
,
王天民
材料导报
SiC是一种宽带隙半导体材料,在高温、高频、大功率、光电子及抗辐射等方面具有巨大的应用潜力。介绍了国外对该材料及其薄膜进行辐照的一些结果,并指出开展SiC及其薄膜辐照效应研究的重要意义,预测了其发展方向和应用前景。
关键词:
SiC
,
辐照
,
发展方向与应用前景
刘贵昂
,
谢二庆
,
王天民
功能材料
对射频等离子体方法制备的类金刚石(以下简称DLC)薄膜样品进行了紫外辐照.采用电阻率、Raman光谱及红外光谱研究了紫外光(以下简称UV)辐照对DLC薄膜结构与特性的影响.Raman光谱表明:紫外光对DLC薄膜中SPC-H键的破坏作用非常明显,红外(IR)光谱结果进一步验证了这一结果.经UV辐照后,...
关键词:
类金刚石薄膜
,
紫外光辐照
,
Raman光谱
,
红外光谱
,
石墨化
刘贵昂
,
谢二庆
,
王天民
功能材料
用射频等离子体方法在玻璃基底上制备了类金刚石薄膜.分析了γ射线辐照类金刚石薄膜(以下简称DLC薄膜)的结构与特性改变.采用Raman及红外光谱进行结构分析表明:随辐照剂量的增加,在膜中出现SP3C-H及SP2C-H键的断裂与减少,SP3C-C键的略微增加.当辐照剂量达10×104Gy时,SP3C-H...
关键词:
类金刚石薄膜
,
γ射线辐照
,
SP3C-H及SP3C-C键
,
结构与特性
刘贵昂
,
王天民
,
王欲知
材料导报
类金刚石薄膜(以下简称DLCF)是一种极有发展前途的材料,其用途非常广泛。介绍DLCF辐照的现状,指出DLCF辐照效应的研究对其在空间、核聚变反应等辐照环境下应用的必要性和重要性,预测了其发展方向和应用前景。
关键词:
类金刚石薄膜
,
辐照
,
发展方向