刘雄飞
,
高金定
,
肖剑荣
,
张云芳
,
周昕
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2004.04.012
以CH4和CF4的混合气体作源气体,利用等离子体增强型化学气相沉积法(PECVD),改变射频功率,制备了一批氟化非晶碳薄膜样品.用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,发现随着射频功率增大,薄膜均匀性变差,掩蔽效应作用加剧.FITR光谱分析表明:薄膜中主要含有CFx和C=C键,较低功率下沉积的薄膜中主要含有CF2和CF3,较高功率下沉积的薄膜中主要含CF和CF2.Raman光谱分析发现在较高沉积功率下沉积的薄膜中出现了由sp2和sp3混合微晶结构.
关键词:
射频功率
,
氟化非晶碳薄膜
,
微观性能
肖剑荣
,
徐慧
,
李幼真
,
刘雄飞
,
马松山
,
简献忠
中国有色金属学报
使用CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了a-C:F:H薄膜样品.采用拉曼光谱仪、傅里叶变换红外光谱仪、X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜的结构进行了测试和分析.研究发现:该膜呈空间网状结构,膜内碳与氟、氢的结合主要以sp3形式存在,而sp2形式的含量相对较少;在薄膜内主要含有C-Fx(x=1,2,3)、C-C、C-H2、C-H3等以及不饱和C=C化学键;同时,薄膜中C-C-F键的含量比C-C-F2键的含量要高.在不同功率下沉积的薄膜,其化学键结构明显不同.
关键词:
a-C:F:H薄膜
,
等离子体增强化学气相沉积
,
低介电常数
,
化学键
刘雄飞
,
肖剑荣
,
李幼真
,
张云芳
材料导报
氟化非晶碳(a-C:F)薄膜是一种电、光学新材料.介绍了它的制备方法,对其制备工艺作了较全面的探讨;分析了该膜制备方法和工艺参数对薄膜组分及化学键结构的影响;研究了该膜的电学、光学、热学、力学等物理性质及其在相关方面的应用,并对该膜的物理性质与制备工艺参数的关联作了详细的论述;指出介电常数和热稳定性的矛盾是阻碍该膜实用化的主要原因.
关键词:
氟化非晶碳薄膜
,
介电常数
,
光学带隙
,
热稳定性
,
化学气相沉积
马剑龙
,
汪建文
,
刘博
,
车飞
,
刘雄飞
工程热物理学报
针对某新翼型叶片,提出了翼型加厚、新型双夹板式叶片连接方式、叶片沿翼展方向开槽和加胁三种风轮固有频率改进新方法.利用PULSE16.1结构振动分析系统对相应系列新翼型叶片风轮进行模态测试,获得各结构改进方法对风轮各阶固有频率的影响规律.试验结果表明:加厚新翼型叶片可有效提升风轮前三阶固有频率18％以上;新型双夹板式叶片安装方式较老式法兰紧固叶片安装方式也可有效提升风轮前三阶固有频率,且其对风轮各阶对称振型固有频率的提升效应较反对称振型显著;沿翼展方向开槽和加胁的新翼型同样可有效提升风轮的前三阶固有频率,且其对风轮各阶反对称振型固有频率的提升效应较对称振型显著.
关键词:
风力机
,
新翼型
,
风轮
,
固有频率改进新方法
,
模态测试
李晨辉
,
吕海波
,
刘雄飞
稀有金属材料与工程
利用抗弯强度试验及扫描电镜分析,研究了磁控溅射镀钛金刚石在Co基、Fe基、Ni基及Cu基结合剂中的界面结合状态.结果发现,在700℃～840℃热压条件下,钛镀层难以跟金刚石形成强的界面结合;在抗弯试验中,钛镀层大多沿金刚石表面剥离;镀钛对含金刚石试样的抗弯强度的影响在不同的结合剂中显著不同.
关键词:
镀钛金刚石
,
结合剂
,
界面
