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高温超导YBa2Cu3O7-δ-Y2O3多层薄膜的制备及性能表征

刘宇 , 陈星斌 , 陈金清 , 姚文俐 , 刘鲁峰 , 杜国平

低温物理学报

采用脉冲激光沉积技术（PLD）在LaAlO3（100）单晶衬底上外延生长YBa2Cu3O7-δ-Y2O3多层薄膜，用X射线衍射技术（XRD）分析薄膜的物相结构和外延特性，通过原子力显微镜（AFM）观察薄膜的表面形貌．本文主要研究了最佳工艺参数下交替生长多层YBCO-Y2O3膜的超导性能．结果表明，W...

关键词: 高温超导薄膜 , PLD , Y2O3 , 外延