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李法荟 , 李建保 , 华大辰 , 王晓刚
人工晶体学报
石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现.腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度.本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段.
关键词: 石英晶体 , 腐蚀隧道 , 位错 , 晶体生长
尹利君 , 华大辰
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.04.018
石英晶体生长功率的主要消耗在恒温阶段,其电功率变化是节能的主要参数.本文通过分析石英晶体的生长机理和过程保温模型,提出在解决溶解区的保温同时控制好温度和生长区与溶解区之间的温差以保证晶体低耗高质高效的方案.
关键词: 石英晶体 , 生长功率 , 保温 , 节能