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黄国强 , 毛俊楠 , 王红星 , 华超
人工晶体学报
建立了氢气和三氯氢硅系统的多晶硅气相沉积反应模型,通过Chemkin4.0耦合气相反应、表面反应机理,利用流体力学软件Fluent 6.3.26数值求解.根据模拟结果绘制了进气温度、进气组成、沉积表面温度以及反应压力与硅沉积速率的关系曲线,阐述了这些条件对于硅沉积速率的影响,同时把模拟结果与文献中的...
关键词: 化学气相沉积 , 数值模拟 , 传质 , 反应 , 多晶硅 , 硅沉积速率
