秦秀娟
,
王佳宁
,
卜立敏
,
孙丽
,
孟惠民
,
刘日平
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2008.05.003
采用两种溶胶一凝胶工艺在普通玻璃基片上制备Ag:znO和AI:ZnO薄膜,通过XRD、UV-Vis吸收谱等分析方法,研究掺杂Ag和Al对半导体ZnO薄膜的组织结构和光学性能的影响.分析表明:掺杂Ag和Al对ZnO薄膜结构的影响因成胶工艺不同而有差异.但掺杂离子对ZnO薄膜光学性能的影响结论是一致的.即Al3+离子掺杂显著减小了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度增大,紫外一可见光吸收边出现蓝移.Ag+离子掺杂增大了晶粒尺寸,薄膜禁带宽度减小,紫外一可见光吸收边出现红移.
关键词:
掺杂ZnO薄膜
,
溶胶—凝胶法
,
结构特性
,
光学特性
