卞留芳
,
张春光
,
陈维德
,
许振嘉
,
屈玉华
,
刁宏伟
中国稀土学报
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD) 的方法,以固定的氢气(H2)流量和不同的硅烷(SiH4)和甲烷(CH4)流量比沉积了一系列的氢化非晶SiC(a-SixC1-x-H)膜.用这种宽带隙的a-SixC1-x-H材料作为掺铒的基体材料,通过离子注入的方法得到掺铒的a-SixC1-x-H(a-Six...
关键词:
Er
,
SiC
,
硅基材料
,
发光
,
稀土
张春光
,
卞留芳
,
陈维德
中国稀土学报
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)和离子注入的方法制备了掺铕 GaN薄膜. 利用Raman散射技术研究薄膜的晶格振动,从而确定离子注入引进的晶格损伤变化情况. 结果表明,Eu离子注入剂量越大,对晶格的损伤越严重;Eu离子注入的能量越高,对晶格的损伤也越严重;采用沟道注入方法可以有效地减小对晶体...
关键词:
GaN
,
Eu
,
金属有机物化学气相沉积
,
Raman散射
,
铕
,
稀土
