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电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究

卢剑萍 , 李国荣 , 郑嘹赢 , 曾江涛 , 曾华荣 , 卞建江

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00379

利用电泳沉积法在Φ50 μm的铂金丝上制备了厚度约50 μm的0.2Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-(0.8-x)PbTiO3-xPbZrO3 (PNN-PZT)致密压电陶瓷厚膜. 研究了不同聚合度的分散剂聚乙二醇(PEG)对悬浮液的Zeta电势和厚膜表面形貌的影响.结果显示, 加入高聚合度的分散剂PEG10000所制得的悬浮液比加入低聚合度的分散剂PEG6000制得的悬浮液更稳定, 并且电泳沉积得到的厚膜也更加致密. 本研究解释了不同聚合度的PEG对悬浮液稳定的可能原因, 并比较了连续电泳沉积法与分步电泳沉积法对厚膜表面形貌的影响, 结果表明采用分步电泳沉积法制备的厚膜更加致密. 研究了不同的烧结温度对PNN-PZT厚膜形貌和介电性能的影响, 结果显示烧结温度为1180℃时, 厚膜的介电性能最好, 介电常数达988, 介电损耗为3.7%. 测试了1180℃烧结的PNN-PZT厚膜的电压位移曲线和电滞回线, 结果表明厚膜的有效压电常数为90 pm/V,剩余极化为6.00 kV/cm.

关键词: 电泳沉积; PNN-PZT厚膜; 聚乙二醇

电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究

卢剑萍 , 李国荣 , 郑嘹赢 , 曾江涛 , 曾华荣 , 卞建江

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00379

利用电泳沉积法在φ50 μm的铂金丝上制备了厚度约50 μm的0.2Pb(Ni1/3Nb2/3)O3-(0.8-x)PbTiO3-xPbZrO3(PNN-PZT)致密压电陶瓷厚膜.研究了不同聚合度的分散剂聚乙二醇(PEG)对悬浮液的Zeta电势和厚膜表面形貌的影响.结果显示,加入高聚合度的分散剂PEG 10000所制得的悬浮液比加入低聚合度的分散剂PEG6000制得的悬浮液更稳定,并且电泳沉积得到的厚膜也更加致密.本研究解释了不同聚合度的PEG对悬浮液稳定的可能原因,并比较了连续电泳沉积法与分步电泳沉积法对厚膜表面形貌的影响,结果表明采用分步电泳沉积法制备的厚膜更加致密.研究了不同的烧结温度对PNN-PZT厚膜形貌和介电性能的影响,结果显示烧结温度为1180℃时,厚膜的介电性能最好,介电常数达988,介电损耗为3.7%.测试了1180℃烧结的PNN-PZT厚膜的电压位移曲线和电滞回线,结果表明厚膜的有效压电常数为90 pm/V,剩余极化为6.00 kV/cm.

关键词: 电泳沉积 , PNN-PZT厚膜 , 聚乙二醇

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