朱胤
,
左敦稳
,
王珉
,
卢文状
,
宋胜利
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.06.012
在CVD金刚石生长系统的基础上设计开发了计算机控制系统,对金刚石生长过程中各物理信号进行监测与控制,实现了无人值守下金刚石的生长.详细介绍了计算机控制的结构和软件实现方法.最后介绍了在计算机控制之下金刚石厚膜,纳米金刚石薄膜以及复合膜的生长.结果表明该系统运行稳定、可靠,控制效果明显优于人工控制,具有非常广泛的应用价值.
关键词:
CVD金刚石
,
计算机控制
,
金刚石生长系统
