黄美东
,
董闯
,
宫骏
,
卢春燕
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.06.016
在不同基体负偏压作用下,用阴极电弧离子镀等离子体物理气相沉积(PVD)方法在单晶Si(100)基片上获得六方晶系的晶态AlN薄膜用X射线衍射仪分析了沉积膜的物相组成和晶格位向随偏压的变化,在扫描电子显微镜(SEM)下观察沉积膜的显微组织形貌.结果表明,在较小偏压下,AlN膜呈(002)择优取向,表面...
关键词:
偏压
,
阴极电弧离子镀
,
物理气相沉积
,
AlN薄膜
谭明晖
,
杜昊
,
卢春燕
,
宫骏
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
研究了超薄Fe膜在可见光波段及红外波段的吸收率随薄膜厚度变化的关系.结果表明,金属薄膜吸收率具有尺寸效应,并具有极大值对比超薄Fe膜吸收率与其直流电导率的实验结果可知,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因.
关键词:
超薄Fe膜
,
null
,
null
谭明晖
,
杜昊
,
卢春燕
,
宫骏
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.10.020
研究了超薄Fe膜在可见光波段及红外波段的吸收率随薄膜厚度变化的关系.结果表明,金属薄膜吸收率具有尺寸效应,并具有极大值对比超薄Fe膜吸收率与其直流电导率的实验结果可知,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因,
关键词:
超薄Fe膜
,
吸收率
,
尺寸效应
