李艳花
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傅毛生
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危亮华
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周雪珍
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周新木
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李永绣
中国稀土学报
以硝酸铈为原料,十二烷基苯磺酸钠为分散剂,过氧化氢为氧化剂,氨水为沉淀剂,采用直接沉淀法制备了粒径分布均匀的纳米氧化铈粉体,并通过XRD,TEM等手段对粉体进行了表征.采用所制备的氧化铈粉体配置成抛光浆料对硅片进行抛光,研究了浆料pH值、固含量及过氧化氢浓度对n型半导体硅晶片(111)晶面抛光性能的影响.确定了最佳的抛光条件为:pH值10.5,含固量为0.5%,过氧化氢体积分数为1.5%.此时的抛光速率为61.1 nm·min-1,所抛光的硅晶片的表面粗糙度为0.148nm.
关键词:
纳米CeO2粉体
,
化学机械抛光
,
材料去除速率
,
硅晶片
,
稀土
邓苏君
,
刘艳珠
,
傅毛生
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危亮华
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李永绣
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2009.01.024
以水合硝酸铈和阿魏酸为原料,采用机械化学法合成了阿魏酸铈配合物.研究了反应加料比和质子接受剂以及分散剂对铈转化率的影响,并对合成产物进行了表征.结果表明:由于阿魏酸的酸性弱,铈离子与阿魏酸的阳离子交换反应难以发生,因此,六次甲基四胺的加入对于促进阿魏酸铈配合物的形成起主要作用.随六次甲基四胺加入量的增加,铈的转化率增大;但要使铈转化完全,阿魏酸与铈的摩尔比应达到6: 1,六次甲基四胺与阿魏酸的摩尔比应达到1.5: 1.聚乙二醇(2000)添加量的增加也能提高铈转化率,其合理的添加量为 1%～2%(质量分数).在此条件下只需球磨30 min,就可以使铈转化率超过99.5%.元素分析结果证明,合成配合物的组成为(C10 H9 O4 )3 Ce · 3H2O,红外和核磁共振谱的结果表明是阿魏酸中的羧基与铈直接配位的.
关键词:
阿魏酸铈
,
铈
,
机械化学法合成
,
表征
傅毛生
,
李永绣
,
危亮华
稀土
doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2009.03.001
采用醋酸与碳酸铈反应获得醋酸铈前驱体,通过直接热分解制备氧化铈粉末,运用XRD、SEM、粒度测试仪和表面电位微电泳仪等表征手段,探讨氯化钠加入到醋酸铈前驱体中对氧化铈粉末形貌和粒度大小的影响.研究结果表明,氯化钠能促进氧化铈的晶化,而且煅烧温度对氧化铈的形貌和粒度大小有重要影响.当煅烧温度从600℃升高到1000℃,所得氧化铈粉末的中位粒径(D50)先增加后下降然后又增加,其中在800℃发生转折,其CeO2粉末的D50为1.57μm,粒子形貌为球状而且大小均匀,晶粒间只存在轻度团聚;当煅烧温度高于800℃,熔融氯化钠加速晶粒长大,粉末粒度增加较明显;而无氯化钠参与的醋酸铈前驱体在800℃热分解得到的CeO2粉末形貌各异而且大小不均匀,存在明显的局部烧结长大和粒子团聚现象,其D50为1.75μm.运用盐助机理模型对氯化钠在直接热分解醋酸铈前驱体制备氧化铈过程中的作用进行探讨.
关键词:
氯化钠
,
粒度
,
氧化铈
,
XRD
,
盐助机理
