董俊
,
史冰川
,
何永国
,
栾石林
人工晶体学报
本文对几种典型的实测电阻率曲线进行分析,利用普凡公式和补偿后净载流子导电模型对曲线的异常进行了合理解释并用低温红外检测结果进行了对比验证.采用硼磷杂质浓度补偿净值方法计算出的数据接近实测情况,电阻率特性曲线符合普凡公式描述的规律,可作为理论特性曲线使用.
关键词:
硅多晶
,
磷检
,
电阻率
,
净载流子
史冰川
,
董俊
,
李昆
,
黄磊
,
亢若谷
,
邱建备
材料科学与工程学报
doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.037
本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术.简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较.根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献.
关键词:
硅芯
,
杂质分凝
,
杂质挥发
,
坩埚污染
