靳聪慧
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史振亮
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于威
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丛日东
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张瑜
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宋登元
,
傅广生
人工晶体学报
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥...
关键词:
反应离子刻蚀
,
锥型绒面结构
,
晶体硅
,
太阳能电池
季云
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史振亮
,
尹辰辰
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郭秀斌
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于威
,
李晓苇
人工晶体学报
采用射频磁控溅射技术,以不同Eu、Mg掺杂比的ZnO/MgO/Eu2O3陶瓷靶材,制备了Eu、Mg共掺的ZnO薄膜(ZMEO).通过X射线衍射(XRD)、Raman散射及光致发光(PL)技术研究了Eu、Mg掺杂比对ZMEO薄膜微观结构和光致发光性能的影响.结果表明:所制备的ZMEO薄膜皆为六角纤锌矿...
关键词:
ZMEO薄膜
,
磁控溅射
,
掺杂比
,
光致发光
