谢和平
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张树人
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杨成韬
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张洪伟
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叶井红
材料导报
薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案,比声表面波滤波器(SAWF)、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值,低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力.介绍了薄膜体声波谐振器的研究历史和研究概况,薄膜体声波谐振器的原理和3种典型结构,具体阐述了薄膜体声波谐振器的关键技术及其材料体系的要求.
关键词:
微电子机械系统
,
薄膜体声波谐振器
,
SMR结构
,
悬空结构
叶井红
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杨成韬
,
王磊
材料导报
综述了磁电复合材料的合成工艺和研究现状.磁电复合的基本理论是基于乘积效应的,指出了获得高磁电效应的基本条件.分别详述了包括颗粒复合、粘合层状复合以及纳米复合在内的3种不同复合方式磁电复合材料的制备工艺,讨论了这些磁电复合材料制备方法的优缺点,并对磁电复合材料制备这一研究领域进行了展望.
关键词:
磁电材料
,
磁电效应
,
制备
,
压电
,
磁致伸缩
