薛雅
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叶志镇
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陈凌翔
,
叶春丽
材料科学与工程学报
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英衬底上制备p型Na掺杂ZnMgO薄膜,薄膜在氮气气氛中600℃退火60 s,具有较好的光电性能.在室温下分别用波长254nm的紫外光和波长630nm的红色激光对样品进行了光电导性能测试.两种光照下,光电流均瞬间上升,且光响应度与外加偏压具有线性相关性.紫外光照下p...
关键词:
Na掺杂
,
p型ZnMgO
,
光电导
王钰萍
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叶春丽
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吕建国
,
丛宏林
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江忠永
,
叶志镇
材料科学与工程学报
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO／Cu、Cu／AZO和AZO／Cu／AZO三种复合结构多层膜，研究了生长温度对多层膜特性的影响，发现AZO／Cu双层薄膜具有最优的光电性能，其最佳生长温度为100～150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO／Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响，结果表...
关键词:
AZO
,
多层结构薄膜
,
光电性能
,
生长温度
叶春丽
,
王钰萍
,
吕建国
材料科学与工程学报
采用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上室温生长了AZO/Cu双层薄膜,Cu层厚度控制在9nm,研究了AZO层厚度对薄膜电学和光学性能的影响。当AZO层厚度为20～80nm时,AZO/Cu双层薄膜具有良好的综合光电性能,方块电阻为12～14Ω/sq,可见光平均透过率为70～75%,品质因子为2×10-3～5...
关键词:
AZO
,
双层薄膜
,
光电性能
,
室温生长
