吉宏林
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储成林
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王如萌
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张旭海
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张文艳
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董寅生
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郭超
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盛晓波
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林萍华
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朱剑豪
稀有金属材料与工程
通过直流平衡磁控溅射法在NiTi形状记忆合金基底上制备纯Zr膜,并采用SEM、XRD、XPS等对Zr膜的组织结构进行研究.结果表明:Zr膜具有晶带T型结构,组织保持细小致密的纤维状特征,没有空洞和锥状形态,表面平整,与基体结合良好;膜和其块体Zr靶材晶体结构一致,出现少量的生物惰性ZrO2陶瓷相.最后,对磁控溅射沉积Zr膜的机制进行了探讨.
关键词:
NiTi形状记忆合金
,
磁控溅射
,
Zr
,
膜
,
表面改性
余凤丹
,
储成林
,
吉宏林
,
饶席
,
张文艳
,
董寅生
,
郭超
,
盛晓波
,
林萍华
,
朱剑豪
稀有金属材料与工程
通过直流平衡磁控溅射法在NiTi SMA表面生成Zr-Ti膜,用SEM、XRD和XPS分析证实制各的Zr-Ti膜呈现晶带T型结构,组织保持了细小致密的纤维状特征,与基底结合良好,并且出现了少量生物惰性ZrO2和TiO2陶瓷相.通过测定溶血率研究血小板黏附行为,评估血液相容性.结果表明,与NiTi基底相比,Zr-Ti膜的溶血率更低,表面黏附的血小板数量减少,能够改善NiTi SMA基底的血液相容性.最后,对磁控溅射沉积Zr-Ti膜的成膜机理进行了探讨.
关键词:
磁控溅射
,
Zr-Ti
,
膜
,
表面改性
