王新
,
向嵘
,
任新光
,
李野
,
姜德龙
,
端木庆铎
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.012
对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究.在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°.两种...
关键词:
氧化铟锡
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
透光率
,
电阻率
王新
,
刘楠
,
向嵘
,
李野
,
端木庆铎
,
田景全
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20112602.0158
在室温条件下,采用射频磁控溅射的方法在石英衬底上制备了NiO薄膜,深入研究了不同溅射功率对NiO的结构、光学和电学特性的影响.随着溅射功率的升高,NiO薄膜逐渐由非晶态薄膜转变成具有(111)择优取向的晶态薄膜,同时发现NiO薄膜在可见光区透过率较大,而在紫外光区透过率减小;随着溅射功率的升高,薄膜...
关键词:
射频磁控溅射
,
氧化镍
,
结构
,
光学
,
电学
