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退火工艺对低压铝箔氧化膜和比电容的影响

吕亚平 , 毛卫民 , 何业东 , 杨宏

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.05.018

纯度99.988%的铝箔在300,400和500℃分别进行0.5,1和2h真空退火,然后利用电容法,间接测出退火箔的氧化膜厚度.用扫描电子显微镜观察部分退火箔的腐蚀形貌,测出相应的比电容.结果表明,在400℃退火时,铝箔的氧化膜厚度最小,300℃居中,500℃最大.在300℃退火时,随着保温时间的延...

关键词: 铝箔 , 氧化膜 , 腐蚀 , 扩散