马颖
,
吕庆莉
,
张方辉
,
袁桃利
,
张麦丽
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.012
以铟、锡氯化物为前驱物,采用溶胶-凝胶法在玻璃基体上制备不同锡掺杂的ITO膜,在热处理温度为450 ℃条件下制备不同锡掺杂(质量分数11 %～33 %)的ITO膜,研究锡掺杂对ITO膜方阻和结构特性的影响.用四探针法测量ITO膜的方阻并对样品进行X射线衍射分析,结果表明:锡掺杂量在20 %时ITO膜...
关键词:
ITO膜
,
溶胶-凝胶法
,
Sn掺杂
,
X射线衍射分析
