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纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备及非线性光学性质研究

吕蓬 , 郭亨群 , 申继伟 , 王启明

功能材料

采用射频磁控反应溅射法结合热退火处理技术制备纳米硅镶嵌氮化硅(nc-Si/SiNx)复合薄膜.通过X射线能谱(EDS)、红外光谱(IR)、X射线衍射(XRD)及紫外-可见吸收光谱(UV-vis)的测定,对薄膜进行了组分、键合状态、结构及光学带隙的表征.采用皮秒激光运用单光束Z扫描技术开展了对该复合薄...

关键词: nc-Si/SiNx薄膜 , 射频磁控反应溅射 , 光学非线性 , 量子限域效应 , Z扫描