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梯度复合KTN薄膜的铁电和热释电性能研究

董兵海 , 王世敏 , 许祖勋 , 吴会光

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.011

在Pt/Ti/SiO2/Si基片上采用Sol-Gel法制备了五组分成分梯度分布的KTa1-xNbxO3(x=0.55,0.525,0.50,0.425,040)热释电薄膜.测试结果表明,复合KTN薄膜具有钙钛矿型结构,0.5μmKTN薄膜在15℃至51℃温度范围内,频率1.0kHz时,平均相对介电常数εr=1075,平均介电损耗tanδ=0.011.在室温及120kV/cm下极化30min后,0.5μm复合薄膜在15-51℃温度范围内热释电系数出现峰值,平均热释电系数为3.54×10-6C/(cm2·K),电压响应优值Fv=1.205×10-9C·cm/J,探测度优值Fd=3.768×1-7C·cm/J.该薄膜工作温度范围较宽,作为热释电材料开发应用前景十分广阔.

关键词: 多组分梯度 , KTN薄膜 , 铁电性能 , 热释电性能

采用Sol-gel法制备梯度复合热释电薄膜

董兵海 , 王世敏 , 许祖勋 , 吴会光

材料导报

以TaCl5和NbCl5为原料制备了乙醇钽和乙醇铌,对溶胶-凝胶法制备KTa1-xNbxO3薄膜的工艺过程、影响因素进行了研究,提出了优化的制备工艺,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了组分梯度复合KTa1-xNbxO3热释电薄膜.

关键词: KTN薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 制备

组分非梯度KTN热释电薄膜的制备及其性能研究

王世敏 , 董兵海 , 许祖勋 , 傅晶 , 吴会光

功能材料

为使KTN热释电薄膜能够在较宽的温度范围内有较高的热释电系数,本文在Pt/Ti/SiO2/Si基片上采用Sol-Gel法制备了两种多组分成分非梯度分布的KTN热释电薄膜.用XRD分析了薄膜的晶相结构,并研究了其铁电、介电和热释电性能.结果表明,两种薄膜均具有钙钛矿型结构,且均可观察到典型的电滞回线.在100kHz频率下,Ⅰ型薄膜在16~43℃,εr=332,tg δ=0.21,14~46℃平均热释电系数为3.246×10-4C/(cm2·K),计算所得Fv=3.58×10-7C·cm/J,Fd=1.42×10-5C·cm/J,Ⅱ型薄膜在17~46℃,εr=987,tgδ=0.18,14~44℃平均热释电系数为2.797×10-4C/(cm2·K),电压响应优值为1.04×10-7C·cm/J,探测度优值为7.69×10-6C·cm/J.

关键词: 组分非梯度 , KTN , 热释电薄膜 , 制备 , 性能

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