毛逸飞
,
王志强
,
赵路睿
,
吴文刚
,
徐军
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.05
重点研究了聚焦离子束的相关原理和应用。利用聚焦离子束应力引入致形变（ Focused Ion Beam Stress-Introduced De-formation， FIB-SID）技术与常规微加工工艺相结合，制备微型金属无源螺旋电感的设计方法和工艺流程，并对其电学性能进行初步高频测试。首先在SOI（ Silicon-on-Insulator）基片上通过光刻、溅射以及各项同性刻蚀等常规工艺制得悬浮的金属悬臂梁，再利用FIB刻蚀原理进行应力引入，通过控制注入离子剂量、 FIB应力引入的次数、 FIB扫描的间距等试验参数制得不同尺寸结构的三维螺旋金属无源电感。最后，采用安捷伦网络分析仪与微波探针台，使用GSG结构及相应的去嵌方法，对微型金属螺线管电感进行了高频测试。得出了三维螺旋微纳电感的电感值、品质因子、电压驻波比、回波损耗随频率变化关系。
关键词:
FIB-SID
,
微型金属无源螺旋电感
,
高频测试
