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反应磁控溅射 TiN/AlON纳米多层膜的微结构与显微硬度

黄碧龙 , 吴昕蔚 , 孔明 , 李戈扬

金属学报

采用Ti靶和Al2O3 靶在Ar、N2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,制备了一系列不同AlON层厚度的TiN/AlON纳米多层膜,利用X射线能量色散谱仪、X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针研究了AlON的形成条件以及AlON调制层厚的改变对多层膜微结构和力学性能的影响。结果表明,在Ar...

关键词: TiN/AlON纳米多层膜 , epitaxial growth , crystallization , mechanical properties

反应溅射Ti(O,N)涂层的微结构与力学性能

吴莹 , 吴昕蔚 , 李广泽 , 李戈扬

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.06.014

采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响.结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮含量相应减少,但涂层始终保持与TiN相同的NaCl结构....

关键词: 反应磁控溅射 , Ti(O,N)复合涂层 , 微结构 , 力学性能

反应磁控溅射TiN/AlON纳米多层膜的微结构与显微硬度

黄碧龙 , 吴昕蔚 , 孔明 , 李戈扬

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2008.02.013

采用Ti靶和Al2O3靶在Ar、 N2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,制备了一系列不同AlON层厚度的TiN/AlON纳米多层膜,利用EDS、XRD、HRTEM和微力学探针研究了AlON的形成条件以及AlON调制层厚的改变对多层膜生长方式和显微硬度的影响.结果表明,在Ar、N2混合气氛中对Al2O...

关键词: TiN/AlON纳米多层膜 , 外延生长 , 非晶晶化 , 显微硬度 , 反应磁控溅射

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