吴莹
,
吴昕蔚
,
李广泽
,
李戈扬
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2007.06.014
采用反应磁控溅射方法在Ar、N2和O2混合气氛中制备了一系列Ti(O,N)涂层,并采用EDS、XRD、SEM、AFM和微力学探针研究了氧分压对涂层的化学成分、微结构和力学性能的影响.结果表明:随混合气氛中氧分压的提高,涂层中的氧含量逐步增加,氮含量相应减少,但涂层始终保持与TiN相同的NaCl结构....
关键词:
反应磁控溅射
,
Ti(O,N)复合涂层
,
微结构
,
力学性能
黄碧龙
,
吴昕蔚
,
孔明
,
李戈扬
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2008.02.013
采用Ti靶和Al2O3靶在Ar、 N2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,制备了一系列不同AlON层厚度的TiN/AlON纳米多层膜,利用EDS、XRD、HRTEM和微力学探针研究了AlON的形成条件以及AlON调制层厚的改变对多层膜生长方式和显微硬度的影响.结果表明,在Ar、N2混合气氛中对Al2O...
关键词:
TiN/AlON纳米多层膜
,
外延生长
,
非晶晶化
,
显微硬度
,
反应磁控溅射