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刘钊 , 吴春军 , 朱玉田 , 陈茂林
材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2009.02.012
本文采用薄板小变形理论分析计算由一种受光照后产生弯曲变形的新型聚合物制造的微泵泵膜的形变,在理论推导出加入光致弯曲后的薄板弯曲问题的基本方程后,对其进行四边简支条件下变形计算,最后进一步采用MATLAB仿真其变形.
关键词: MEMS , 光致弯曲 , MATLAB仿真
