吴春雷
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郑友进
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朱瑞华
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王丹
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付斯年
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黄海亮
人工晶体学报
采用直流热阴极等离子体化学气相沉积(DC-PCVD)方法,以三聚氰胺(C3H6N6)的甲醇(CH3OH)饱和溶液为掺杂源,通过改变反应气氛中的Ar浓度,在P型Si(111)基片上沉积了氮掺杂纳米金刚石膜.采用扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、霍尔测试系统等分析了不同Ar浓度对氮掺杂金刚石膜生长特性的影响.结果表明:随着Ar浓度的增加,膜的晶粒尺寸逐渐减小,表面变得光滑平整；由拉曼G峰漂移引起的压应力先减小后增大；膜的导电性能变好.且由于C3H6N6的引入,使得在较低的Ar浓度下(H2/Ar流量比为100/100时),即可制得晶粒尺寸在30 ～ 50 nm的高质量的金刚石膜样品,远低于H2/Ar体系的Ar浓度为90％的阈值.
关键词:
直流热阴极PCVD
,
氮掺杂
,
Ar浓度
,
纳米金刚石膜
,
电阻率
李文东
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吴春雷
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唐光泽
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马欣新
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赵开礼
材料热处理学报
利用Gleeble 1500D热模拟试验机进行M50钢不同热变形量的试验.采用Quanta 200FEG型扫描电镜背散射电子像研究大块碳化物的分布情况.研究发现,20％变形量时,M50钢大块碳化物即发生了破碎的现象；当变形量达40％时,破碎的大块碳化物出现了明显的团聚.
关键词:
M50钢
,
热变形
,
碳化物
