张卫平
,
陈文元
,
赵小林
,
吴校生
,
崔峰
,
刘武
,
黄晓刚
,
肖奇军
,
马高印
,
张忠榕
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.030
分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展.
关键词:
悬浮转子微陀螺
,
技术关键
,
方案
,
最新进展
崔峰
,
肖奇军
,
吴校生
,
张卫平
,
陈文元
,
赵小林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.053
为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H3O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验.实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘.该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义.
关键词:
Pyrex
,
湿法腐蚀
,
掩膜
,
凹坑
,
电镀
