谈淑咏
,
吴湘君
,
张旭海
,
张炎
,
蒋建清
,
朱雪锋
,
江先彪
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.11.005
在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层.用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能.结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小...
关键词:
Cr/CrN多层涂层
,
层厚比
,
硬度
,
磨损率
王舒舒
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吴湘君
,
光寒冰
,
周淑
,
张文艳
,
章非敏
稀有金属材料与工程
探讨不同氮分压下磁控溅射氮化锆(ZrN)涂层对纯钛与低熔瓷粉(Vita钛瓷粉系统)结合强度的影响.60个纯钛基片随机分为1个对照组和3个实验组.实验组分别在不同氮分压下(Ta组1.0×10-2Pa,Tb组5.0×10-2Pa和Tc组10.0×10-2Pa)溅射沉积ZrN涂层.纯钛试样经表面处理后在烤...
关键词:
氮化锆(ZrN)
,
磁控溅射
,
氮分压
,
钛瓷
,
结合强度
谈淑咏
,
张旭海
,
吴湘君
,
蒋建清
机械工程材料
采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层,研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响.结果表明:当氮流量比在30%～100%变化时,涂层主要由CrN相构成;随氮流量比增加,涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存,涂层变得致密,硬度得到提高;氮流量比对涂层结合力影响不大.
关键词:
直流磁控溅射
,
氮流量比
,
氮化铬涂层
谈淑咏
,
张旭海
,
李纪宏
,
吴湘君
,
蒋建清
功能材料
直流磁控溅射法制备不同基底负偏压下的CrN薄膜,采用XRD分析薄膜相结构,EDS分析薄膜表面成分,SEM观察薄膜表面形貌,并对偏压作用机制进行了探讨.结果表明,当Ar流量6ml/min、N2流量30ml/min时,在基底负偏压增大过程中,CrN薄膜始终由CrN相组成,但薄膜生长发生了(111)(-5...
关键词:
基底负偏压
,
择优生长
,
表面形貌
,
直流磁控溅射
