张冷
,
张维佳
,
宋登元
,
张辉
,
张雷
,
马强
,
刘嘉
,
吴然嵩
,
马晓波
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.14.003
阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数.最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,...
关键词:
CIGS
,
真空
,
薄膜
,
溅射靶
孙月峰
,
张维佳
,
宋登元
,
刘嘉
,
张雷
,
马强
,
吴然嵩
,
张冷
表面技术
采用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si∶H),并将其应用于纳米硅薄膜类叠层太阳电池中.分析了薄膜样品的光学性能及表面形貌,结果表明:P型掺硼纳米硅薄膜的光学带隙为2.189 eV,电导率为8.01 S/cm,霍尔迁移率为0.521 cm2/(V· S),载流...
关键词:
RF-PECVD
,
掺硼
,
掺磷
,
纳米硅薄膜
,
类叠层太阳电池