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检索条件:作者=吴然嵩  

  • 论文(2)

铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状

张冷 , 张维佳 , 宋登元 , 张辉 , 张雷 , 马强 , 刘嘉 , 吴然嵩 , 马晓波

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.14.003

阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数.最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,...

关键词: CIGS , 真空 , 薄膜 , 溅射靶

掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜及其应用于类叠层太阳电池的研究

孙月峰 , 张维佳 , 宋登元 , 刘嘉 , 张雷 , 马强 , 吴然嵩 , 张冷

表面技术

采用射频等离子体增强化学气相沉积法,制备了掺硼和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si∶H),并将其应用于纳米硅薄膜类叠层太阳电池中.分析了薄膜样品的光学性能及表面形貌,结果表明:P型掺硼纳米硅薄膜的光学带隙为2.189 eV,电导率为8.01 S/cm,霍尔迁移率为0.521 cm2/(V· S),载流...

关键词: RF-PECVD , 掺硼 , 掺磷 , 纳米硅薄膜 , 类叠层太阳电池