易万兵
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张文杰
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吴瑾
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邹世昌
材料研究学报
用金属有机物化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD)
制备了TiN薄膜, 通过不同循环制备的、
厚度相同的平面薄膜电阻率的比较研究了TiN薄膜的电学性质. 结果表明,
多次循环会引入界面而增大电阻率, 与薄膜成分和微结构分析的结果一致.
得到了单循环的最优厚度以使样品电阻率最低. 通过相同循环、
不同厚度样品在真实器件中电学性能的比较, 发现介窗(Via)直径越小,
TiN薄膜对介窗电阻的影响越大.
关键词:
金属材料
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吴瑾
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吴文操
腐蚀学报（英文）
对混凝土结构中钢筋腐蚀监测技术的研究成果进行了综述，同时指出传统监测手段的不足之处，并提出了智能监测技术的要求；着重分析了钢筋腐蚀监测光纤传感器和无线传感器的研究进展，并展望了混凝土结构中钢筋腐蚀智能监测技术的发展方向.
关键词:
腐蚀监测
,
null
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易万兵
,
张文杰
,
吴瑾
,
邹世昌
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.02.020
用金属有机物化学气相淀积(Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)制备了TiN薄膜,通过不同循环制备的、厚度相同的平面薄膜电阻率的比较研究了TiN薄膜的电学性质.结果表明,多次循环会引入界面而增大电阻率,与薄膜成分和微结构分析的结果一致.得到了单循环的最优厚度以使样品电阻率最低.通过相同循环、不同厚度样品在真实器件中电学性能的比较,发现介窗(Via)直径越小,TiN薄膜对介窗电阻的影响越大.
关键词:
金属材料
,
TiN
,
MOCVD
,
等离子体处理
,
薄膜电阻
