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电弧离子镀TiSiN薄膜的结构及摩擦性能

谢婷婷 , 王向红 , 吴百中 , 高斌 , 郎文昌

材料保护

为实现电弧离子镀TiSiN薄膜成分可控,通过改变靶的相对电流在304不锈钢表面沉积TiSiN薄膜,采用厚度仪、能谱仪、扫描电镜、X射线衍射仪及摩擦试验研究了其形貌、结构及摩擦性能.结果表明:TiSiN薄膜中Si以非晶态Si3 N4形式存在,抑制了面心立方结构的TiN晶粒生长,形成纳米晶TiN/非晶S...

关键词: TiSiN薄膜 , 电弧离子镀 , 结构 , 硬度 , 摩擦系数