吴石头
,
王亚平
,
许春雪
,
袁继海
分析化学
doi:10.11895/j.issn.0253-3820.151006
研究了193 nm ArF准分子激光剥蚀系统高空间分辨率下的仪器检出限、ICP质量负载元素分馏、剥蚀深度/束斑直径元素分馏以及基体效应,并在10μm束斑直径下分析了GSD-1G、StHs6/80-G和NIST612中的微量元素。结果表明,仪器检出限随束斑直径的减小而升高,当束斑直径降低至7μm时,部...
关键词:
激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱
,
ArF准分子激光
,
元素分馏
,
基体效应
,
空间分辨率
