宋国庆
,
吴育民
,
冯云鹏
,
刘景伟
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.01.030
随着自动化控制领域的飞速发展,机器视觉技术日渐成熟,并且在各个领域赢得了越来越广泛的应用.机器视觉系统通过对图像信息的处理,用机器代替人眼实现了各种测量和判断.本综述简要介绍了机器视觉技术的概念和机器视觉系统的主要组成部分,阐述了机器视觉关键技术的发展现状,着重分析了机器视觉技术在光学加工检测领域,特别是在光学抛光检测过程中实现自动化的相关应用,最后展望了机器视觉在光学加工检测领域未来的发展趋势.
关键词:
机器视觉
,
加工检测
,
图像处理
,
自动化
盛海见
,
吴育民
,
文永富
,
李根
,
程灏波
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2017.02.099
针对微结构和微光学元件等微小物体的表面定量检测,本文介绍了一种利用无透镜数字全息的快速、无损的显微成像方法.首先介绍了基于球面波的无透镜数字全息显微成像技术的基本原理,采用CCD作为光电转换器件,基于迈克尔逊干涉光路,设计了无透镜数字全息显微成像系统,利用反射镜构成折反式光路,系统结构简单、紧凑,提升了系统便携性.然后利用USAF1951分辨率板对构建的成像系统进行了标定实验,得出其横向分辨率为6.69 μm,放大倍率为3.375,系统工作距离为12.0 mm.此外,还对晶圆表面结构进行实际测量.实验验证了该系统的可行性和有效性,有望进一步应用于MEMS、微光学元件、光学元件等表面形貌的定量测量中.
关键词:
无透镜数字全息
,
显微成像
,
光学表面检测
,
MEMS
