吴虎城
,
张德坤
,
李伟
材料科学与工艺
以不同能量的碳离子注入方法得到的单晶硅片作为研究对象,利用原位纳米力学测试系统对其纳米硬度和弹性模量进行测定,在UMT-2型摩擦试验机上进行摩擦试验,利用S-3000N型扫描电镜表征其磨损后的磨痕形貌.结果表明,碳离子注入后硅片的纳米硬度和弹性模量发生变化,注入后硅片的的减摩效果和耐磨性能在0.1～0.3 N载荷下得到了大幅度提高.注入前单晶硅片的磨损机制在0.1 N载荷下以粘着磨损为主,在0.6 N载荷下以疲劳剥落为主;注入后单晶硅片的磨损机制以粘着磨损为主.
关键词:
单晶硅
,
离子注入
,
摩擦磨损性能
吴虎城
,
张德坤
,
李伟
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2007.12.019
以不同剂量的碳离子注入得到不同单晶硅片试样,用原位纳米力学测试系统对其纳米硬度和弹性模量进行测定;在UMT-2型摩擦试验机上进行摩擦试验,用S-3000N型扫描电镜观察其磨损后的磨痕形貌.结果表明:碳离子注入后硅片的纳米硬度和弹性模量略高于注入前的单晶硅片,注入后硅片的减摩效果和耐磨性能在0.1～0.3 N载荷下得到了大幅度提高,当载荷增加后,摩擦因数迅速增加并产生磨损痕迹;离子注入前后单晶硅片的磨损机制近似,都以涂抹形貌为主,局部出现剥落现象.
关键词:
单晶硅
,
离子注入
,
摩擦磨损
