吴达军
,
何世明
,
刘兴钊
,
李言荣
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.010
采用脉冲激光沉积(PLD)法在(001)MgO基片上制备出高质量的SrTiO3(STO)薄膜,构建了Au/STO/MgO结构的叉指电容.在77K、10KHz条件下,对叉指电容的特性进行了测试,结果表明:在40kV/cm的直流电场作用下,电容值从1.75 pF减小为1.25 pF,电容值的相对变化率为...
关键词:
STO
,
薄膜
,
介电性质
,
叉指电容
,
滤波器
