材料期刊网

硅基光电集成材料及器件的研究进展

韦文生 , 张春熹 , 周克足 , 王天民

材料导报

以硅基光电集成回路为主线,综述了不同的硅基光波导材料的制备技术和硅基光波导的制作工艺及其对光传输损耗的影响.分析了硅基光波导与锗硅光探测器集成用两种不同的耦合方式,阐明了波导与探测器集成的机理及设计理论基础.归纳出硅基键合激光器的四种技术方案,指出其共同优点是克服材料异质外延引起的晶格失配和热膨胀非共容,对实现OEIC行之有效.

关键词: 硅 , 光波导材料 , 硅基集成光学器件